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台式电镜的作用及构造

 发布时间:2018-10-19 点击量:397
   台式电镜的作用及构造
   台式电镜采用全自动控制无油式真空系统,采用机械泵+磁悬浮分子涡轮泵+离子泵,无油污染,独特的环形二次电子探测器,探测效率高、圆周对称,探测器安装在一侧,且结构复杂。
   台式电镜维护简便,且工作稳定,电镜每8个小时都需要Flash(阴极还原),且发射电流不稳定,使用维护麻烦。末级光栏采用多孔光栏结构,用电磁方式进行更换和对中调整,操作方便。台式电镜多功能控制面板:方便进行聚焦、消像散、电位移、放大倍率调整等,可选配光电一体化模块,实现与光学显微镜连用:实现低倍定位,拍照等功能。
   台式电镜预置图像插入模板,生成报告非常简单,可根据观察目的设置仪器样品仓内的真空度及加速电压有多种选择,可根据需求自行设置,简化寻找视野、图像拍摄、图像确认等一系列操作过程,通过在样品仓内安装光学相机来拍摄整个样品,可实现在显示器上观察样品的同时,寻找样品目标位置。
   而且,仅需在显示器上点击希望观察的位置,即可进行SEM图像拍摄,还可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联,并将结果显示在显示器上,使各图像的位置更为直观。
   台式电镜束流稳定度高,优于0.2%/h,适宜于长时间的各种分析,所需的工作真空度(包括电子枪真空度和样品室真空度)较低,对环境、样品要求不高。而冷场发射电镜的真空度比热场要高2个数量级,真空系统复杂,如样品不清洁、有挥发、放气等情况,抽真空较困难。台式电镜采用动态/静态磁透镜,没有杂散磁场,可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

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