滚球体育

复纳科学仪器(上海)有限公司
技术文章
您现在所在位置:滚球体育 > 技术中心 > 扫描电镜分析样品表面的深度是多少

扫描电镜分析样品表面的深度是多少

 发布时间:2019-06-04 点击量:739

JIN,YOUFEINADIANJINGYONGHUXUNWENGUANYUDIANZISHUFENXIYANGPINSHIKEYICHUANTOUYANGPINDESHENDUDEWENTI,ZHEILIXIAOBIANJIANGWEIDAJIAXIANGXIJIESHAOYIXIA。

 

SAOMIAODIANJINGSHILIYONGJUJIAODIANZISHUJINXINGWEIQUYANGPINBIAOMIANXINGMAOHECHENGFENFENXI,DIANZICONGFASHEYUAN(DENGSI)JINGGUANGLUXITONGZHONGDAODAYANGPINBIAOMIAN,DIANZISHUZHIJINGKEDAO 10 nm YIXIA,CHANGFASHEDIANJINGDEJUJIDIANZISHUZHIJINGHUIGENGXIAO。

 

滚球体育JUJIAODIANZISHUDAODAYANGPINBIAOMIANHUIJIFACHUDUOZHONGWULIXINHAO,BAOKUOERCIDIANZI(SE),BEISANSHEDIANZI(BSE),EXIEDIANZI(AE)、TEZHENG X SHEXIAN(X-ray)、TOUSHEDIANZI(TE)DENG。

 

· 二次电子滚球体育 信号主要来自样品表面,其深度范围 10 nm ,成像具有较高分辨率,能够很好的反映样品形貌特征。

· 背散射电子滚球体育 是入射电子被样品原子核反弹回来的部分电子,电子能量较高,信号深度范围可到 2 μm。

· X 射线滚球体育 可以从样品较深的位置出射,其深度范围可到 5 μm。

 

TU1 BUTONGYANGPINXINHAOSHENDU

 

JUJIAODIANZISHUANYIDINGFANGXIANGRUSHEDAOYANGPINSHANG,DIANZIHUISHOUDAOCAILIAOZHONGJINGTIWEICHANGHEYUANZIKULUNCHANGZUOYONG,QIYUNDONGFANGXIANGFASHENGGAIBIAN,CHENGSANSHEXIANXIANG,QIEGAIGUOCHENGSHISUIJIGUOCHENG。

 

滚球体育RUSHEDIANZIZAIYANGPINNEIBUDESANSHEGUIJIKEYIYONG Monte Carlo DIANZIGUIJIMOXINGJINXINGMONI。JUJIAODIANZISHUYUYANGPINDEZUOYONGQUDEXINGZHUANGLEISISHUIDIXINGZHUANG。GENJU Monte Carlo DIANZIGUIJIMOXINGKEYITUIDAOCHURUSHEDIANZIDACHUANTOUSHENDU H。

 

H = 0.0019 (A/Z) 1.63 E01.71

 

其中 A 为样品原子量,Z 为样品原子序数,E0滚球体育 为入射电子能量(单位 KeV),ρ 为样品密度­。

 

滚球体育TU2 DIANZISHUYUYANGPINZUOYONGQUYUMONITU

 

JUJIAODIANZISHUYUYANGPINZUOYONGQUYUDEDAXIAOZHUYAOYUYANGPINYUANZIXUSHU、DIANJINGJIASUDIANYAHEDIANZISHURUSHEJIAODUYOUGUAN。



1) 样品原子序数 随原子序数增大,大穿透深度降低。

 

RUXIATUSUOSHI,DANGSAOMIAODIANJINGJIASUDIANYAGUDING,SUIZHEYANGPINYUANZIXUSHUZENGJIA,QIZUOYONGQUYUBUDUANJIANXIAO。SUIYUANZIXUSHUZENGDA,RUSHEDIANZIYUERONGYISANSHE,GENGRONGYIPIANLIQISHIFANGXIANG,XIANGHUZUOYONGQUYUHUIJIANSHAO,DACHUANTOUSHENDUYEJIANGDI。

 

滚球体育TU3 YUANZIXUSHUDUIXIANGHUZUOYONGQUYUDEYINGXIANG

 

2) 电镜加速电压 随着加速电压增大,大穿透深度增加。

 

RUXIATUSUOSHI,DUITONGYIZHONGCAILIAO,SUIZHEJIASUDIANYAZENGJIA(5~25kV),QIZUOYONGQUYUBUDUANBIANDA。FENBIECAIYONG 5kV、10kV、15kV,LIYONGBEISANSHETANTOUGUANCHATANCAILIAO,5kV XIAYANGPINBIAOMIANXIJIEGENGFENGFU,15kV YANGPINXINGMAOYOUMINGXIANCHUANTOUGAN。

 

滚球体育JIASUDIANYABIANDA,RUSHEDIANZIDENENGLIANGYEZENGJIA,DIANZIDECHUANTOUSHENDUBIANSHEN,DIANZIGUIJIZAIYANGPINBIAOMIANBIANHUABUDA,SUIZHEDIANZICHUANTOUSHENDUZENGJIAHEDUOCISANSHEFASHENG,RUSHEDIANZIFANGXIANGYEFASHENGBIANHUA,ZUOYONGQUYUYEBIANDA。

 

滚球体育TU4 JIASUDIANYADUIXIANGHUZUOYONGQUYUDEYINGXIANG

 

       

滚球体育TU5 BEISANSHETUXIANG,BUTONGJIASUDIANYAXIADETANCAILIAOXINGMAO

 

3) 电子束入射角度 入射角度增大,作用区域越小。

 

RUSHEDIANZIYUYANGPINZUOYONGQUYUXINGZHUANGLEISISHUIDI,DANGYANGPINBIAOMIANBUPINGHUOFASHENGQINGXIESHI,DIANZISHUZUOYONGQUYUYIHUISHOUDAOYINGXIANG。

 

TU6 RUSHEDIANZISHUJIAODU​

CHUANZHEN:86-021-28986356

邮箱:info@phenom-china.com

滚球体育DIZHI:SHANGHAISHIPUDONGXINQUZHANGJIANGGAOKEJIYUANQUKEYUANLU88HAODEGUOZHONGXINEZUO502

版权所有 © 2018 复纳科学仪器(上海)有限公司   备案号:    技术支持:化工仪器网  GoogleSitemap

联系人
在线客服
扫码关注我们
用心服务 成就你我
访问手机站