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扫描电镜采用了先进的控制技术

 发布时间:2019-08-28 点击量:74
   扫描电镜采用了先进的控制技术
   扫描电镜适用于对低频振动较为灵敏的仪器,例如建筑物和楼层振动、光学平台晃动带来的低频振动,使用隔震平台,可使其降至传统隔离设备如气垫隔振所未能 达到的水平,从而使得对这些振动较为敏感的仪器或设备以无与伦比稳定的状态运行。
   扫描电镜优异的隔振效果使其应用范围广泛,适用于所有需要进行高效隔振的实验平台,目前为止,已应广泛用在包括纳米技术、生物科学、半导体、材料研究、航天器零重力模拟以及高端音频等领域。扫描电镜在高真空的镜筒中,由电子枪产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息( 二次电子 、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器 放大后输入由显像管栅极控制的显像管。
   扫描电镜对样品表面扫描时,由于样品不同部位表面的物理、化学性质、表面电位、所含元素成分及凹凸形貌不同,致使电子束激发出的电子信息各不相同,导致显像管的电子束强度也随着不断变化,在显像管荧光屏上可以获得一幅与样品表面结构相对应的图像。扫描电镜根据探测器接收的电子信号的不同,可分别获得样品的背散射电子图像、二次电子图像、吸收电子图像等。
   扫描电镜分辨率可达50~100,电子放大倍数可由十几倍连续变化到几十万倍,因此可以对样品的整个表面进行比较仔细的观察。扫描电镜是一种新型的电子光学仪器,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表 面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。
 

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