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如何呈现扫描电镜样品表面的“真实形貌”

 发布时间:2019-08-28 点击量:207

滚球体育SAOMIAODIANZIXIANWEIJING(SEM)SHIYIKAODIANZISHUYUYANGPINXIANGHUZUOYONGCHANSHENGEXIEDIANZI、TEZHENG X SHEXIANHELIANXUPU X SHEXIAN、BEISANSHEDIANZIDENGXINHAO,DUIYANGPINJINXINGFENXIYANJIU。

 

扫描电镜在表征样品时,受诸多参数的影响,不同类型样品应选用合适的参数,才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下,电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说,入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟(如图 1 所示),并且推导得到入射电子大穿透深度 Zmax

 

Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71

 

滚球体育TU1 DIANZIZAITAI(Ti)JINSHUZHONGDEYUNDONGGUIJI

 

SUIZHEJIASUDIANYADEZENGJIA,RUSHEDIANZIJIFASHENDUYUESHEN,TANTOUJIESHOUDEXINHAOBAOHANDALIANGCAILIAONEIBUDEXINXI。

 

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TU2

 

DUIBITU 2 BEISANSHEDIANJING(BSD)TUPIANKEYIKANCHUTONGYIYANGPINWEIZHIZAIBUTONGJIASUDIANYAXIA,YANGPINBIAOMIANCHENGFENCHENDU、XINGMAOFASHENGLEMINGXIANDEBIANHUA。

 

1、2 QUYUZAI 5kv CHENGXIANGSHI,YANGPINBIAOMIANYOUBAISECHENDUXIANG,ZAI 15kv CHENGXIANGSHIBIAOMIANZHUYAOWEIHUISECHENDUXIANG+SHAOLIANGBAISECHENDUXIANG。

 

DUICIYANGPIN 1 QUYUCHENGFENFENXIJIEGUORUTU 3 SUOSHI,BAISECHENDUXIANGZHUYAOYOU Zr ZUCHENG,HUISECHENDUXIANGZHUYAOYOU O、Si、Mg、Al ZUCHENG。

 

滚球体育YOUCIKANYIKANCHU,15kv CHENGXIANGSHI,GAONENGDIANZISHUCHUANTOULEBIAOMIANHAN Zr CENG,CHENGXIANCHULEXIABUDEZHUYAOYOU O、Si、Mg、Al ZUCHENGXIANG。ZAI 5kv CHENGXIANGSHI,DIANZISHUWEICHUANTOUBIAOMIANHAN Zr CENG,CHENGXIANCHUGENGJIEJINYUZHENSHIDEYANGPINBIAOMIANDECHENGFENCHENDUXIANG。

 

3 QUYUZAI 5kv XIABIAOMIANXIJIEQINGXIYOULITIGAN,15kv XIAYOUYUDIANZICHUANTOUSHEN,BIAOMIANXIJIEDIUSHIQIEWULITIGAN。YINCIDUIYUCILEIYANGPIN,DIDIANYAXIADUIYUBIAOMIANXINGMAODECHENGXIANGENGZHENSHI。

 

TU3

 

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