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飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL

型    号: XL
所属分类: 台式扫描电子显微镜
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Phenom World 公司隆重推出飞纳卓越版 Phenom XL,超高分辨 14 nm,*采用长寿命 1500 小时、高亮度的 CeB6 灯丝,快速成像抽真空时间小于 30 秒;简易操作,光学 + 低倍电子导航定位,结合全自动马达样品台移动观测位置;直接观测绝缘体,低真空设计,实现不喷金看绝缘体,且不影响灯丝寿命

飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL产品概述:

 

飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版----Phenom XL

 

Phenom World 公司隆重推出飞纳卓越版 Phenom XL

 

 

 

Phenom XL (电镜腔室 100mm x 100mm)具有飞纳电镜系列以下优点:

 

  • 超高分辨

    —— 14 nm,*采用长寿命 1500 小时、高亮度的 CeB6 灯丝

  • 快速成像

    —— 抽真空时间小于 30 秒

  • 简易操作

    —— 光学 + 低倍电子导航定位,结合全自动马达样品台移动观测位置

  • 直接观测绝缘体

    —— 低真空设计,实现不喷金看绝缘体,且不影响灯丝寿命

  • 高度自动化

    —— 自动聚焦,自动调节对比度亮度,拍照简单快速

  • 放置环境无特殊要求

    —— 无需独立实验室,无需超净间

  • 防震设计

    —— 紧凑的一体化设计,可不用防震台摆放在高层

  • 节能高效

    —— 整机zui大功率 300W

  • 远程联网检测

    —— *时间通过远程联网诊断,售后无忧

     

     

     

     

     

同时,Phenom XL 做出了如下改进,使其在拥有台式扫描电镜操作简单等特点的前提下,具备大型落地式电镜的高分辨率、多功能和拓展性强等优势:

 

 

1、Phenom XL 成为台式扫描电镜中腔室zui大的,电镜腔室由原来的 32mm 扩容为 100mm x 100mm,一次可容纳至多 36 个 1/2 英寸样品台,测样效率进一步提高。自动马达样品台的移动范围为 X = 50mm,Y = 50mm(可选配X=100 mm,Y=100 mm)

 

Phenom XL 的样品台

 

 

 

2、Phenom XL 提供高、中、低三级真空,可以选配二次电子探测器

 

 

 

 

3、背散射电子探头性能依然优异,背散射电子信号强度跟样品成分衬度有关,可以和能谱良好结合起来

 

背散射 1000X

 

(背散射电子数量与元素的原子序数成正比,元素的原子序数越高,背散射电子数量越多,该元素在图像中的表现越亮)

 

样品未喷金,采用背散射电子成像,更高倍数下清晰看到多种成分衬度,沿着箭头方向从内到外可以看到 4 种不同的成分衬度,且分界线非常明显。代表这 4 个位置元素含量各不相同,并且沿着箭头方向,重元素占比越来越低。

 

 

 

 

4、低电压下成像优势明显,低电压模式下,可以减少对样品的损伤,穿透,能观察到样品表面更真实的形貌

 

 

二次电子 5kV, 5000X

 

 

二次电子 5kV, 5000X

 

二次电子 5kV, 10000X

 

 

二次电子 5kV, 15000X

 

 

 

5、可拓展拉伸台,压力台,大角度倾斜台,高低温样品台等功能性选件

 

 

 

6、Phenom XL 可选配所有的拓展功能软件选件,如 3D 粗糙度重建系统,纤维统计分析测量系统,孔径统计分析测量系统等

 

 

Phenom XL 详细技术参数:

 

  • 温度:操作环境 15℃ - 30℃

  • 湿度:<80%RH

  • 光学放大倍率:3-16 倍

  • 电子放大倍率:zui高 100,000 倍

  • 电子光学分辨率:≤20nm

  • 光学照明:光学 CCD

  • 电子光学照明:CeB6 灯丝

  • 电子枪灯丝寿命:优于 1500 小时(单根灯丝,电脑有灯丝使用时间计数功能) 

  • 电子枪加速电压: 5kV-20kV 连续可调

  • 电子枪灯丝更换对中方式:软件自动对中

  • 电子光学探测器类型:高灵敏四分割背散射电子探测器,可同时显示成分和形貌信息;二次电子探测器选配

  • X 射线能谱探测器类型:硅漂移(SDD)探测器类型,可实现微区定向分析,即点击感兴趣的部位,即可完成该点的元素定性定量分析

  • 能谱探测器冷却方式:无液氮消耗,采用半导体 Peltier 效应制冷

  • 元素探测范围:Boron(5)- Americium(95)

  • 能谱探测器能量分辨率:<137eV(Mn Kα)

  • 集成能谱 EDS(能谱探头集成在电镜主机内)

  • 真空系统:低噪音无油隔膜泵,涡轮分子泵

  • 样品台移动方式:软件控制的马达驱动,通过鼠标点击目标区域后,样品台自动移动至目标区域画面居中,可实现电镜图像即点即得功能

  • 软件平台:不易受病毒影响的 linux 系统,支持 U 盘及网络存储图像

  • 网络远程检测功能:可通过互联网远程控制及监测仪器

  • 图像观测导航界面:彩色光学全景导航和电子图像局部导航同时显示

  • 图像格式:jpg,tiff,bmp

  • 图像分辨率: 456x456;684x684;1024x1024;2048x2048

  • 自动图像调整功能:自动对焦、自动调节对比度和亮度

  • 观察模式: 标准模式、降低荷电效应模式

  • 图像显示模式:全面模式(形貌和成份)、形貌模式 A(3D)、形貌模式 B(3D)

  • 全景图像拼合功能:可自动连续扫描指定大小区域,每分钟可采集超过 100 张 1024x1024 分辨率的图像,zui大分辨率达 1 亿像素,所的图像自动拼合为一副全景图像

  • 能谱拟合功能:可自动或手动进行元素谱峰识别,并可利用可视化峰剥离技术验证重叠峰识别的正确性

产品相关关键字: 扫描电镜 台式电镜 台式扫描电镜 二次电镜 电镜能谱一体机
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